超高真空ポンプセット

超高真空ポンプセット
超高真空ユニットは、10-6 ~ 10-10Pa の超高真空圧力範囲で動作します。また、真空チャンバーの材質のガス排出量が非常に低く、ガス漏れ率が非常に少なく、200 ～ 450 度の高温ベーキングに耐えることができるため、ユニットの要件には次のものも含まれます。
(1) メインポンプの到達真空度は高く、少なくとも 10-7 ~ 10-8Pa 以上である必要があります。
(2) メインポンプは超高真空の使用圧力範囲内で一定の排気速度を持っています。
(3) ユニットのメインポンプまたはメインポンプ吸気口上部は 200 ～ 450 度の高温ベーキングに耐えることができます。
(4) 自律ポンプへの逆流ガス (作動液蒸気および分解ガスを含む) の分圧は十分に低くなければなりません。
(5) 圧送ガスの選択性が高い主ポンプには、十分に大きな補助ポンプを装備する必要があります。
(6) 本体メインポンプ吸入口上部の配管、バルブ等は、材質の選定、シールに特に注意してください。 一般的にはガス発生量の少ないステンレス鋼や金属製のシール構造やシール材が使用されます。

IKS PVD会社、装飾塗装機、工具塗装機、DLC塗装機、光学塗装機、PVD真空塗装ライン、ターンキープロジェクトをご利用いただけます。 今すぐご連絡ください。メール: iks.pvd@foxmail.com