複合超高真空システム

複合超高真空システム
超高真空またはオイルフリー超高真空の両方を必要とし、同時に粗排気のニーズを満たし、プロセス中に放出される大量のガスに対応するなど、特殊な要件を備えた一部の真空システムでは、組み合わせたシステムを使用して要件を満たすことができます。 図5-16にオイルフリー超高真空コータの真空系概略図を示します。 メインポンプはスパッタリングイオンポンプで、真空度を高め、材料蒸発時に発生する多量のガスを除去するためにチタンサブリメーションポンプを搭載しています。 到達真空度は6.67×10-7Paに達します。 モレキュラーシーブポンプはメインポンプのプレポンプポンプとして使用されます。 さらに、システムには吸着トラップ - メカニカルポンプ粗排気システムも装備されており、圧力が1333Paを超える場合、メカニカルポンプはオイルを戻すのが難しく、メカニカルポンプで真空チャンバーに直接真空にします。真空チャンバーの圧力は 1333Pa より低く、真空チャンバーから吸着トラップ 9 を介してメカニカルポンプをバイパスします。

▲ 図5-16 オイルフリー超高真空コータ真空システム概略図: 1- 真空チャンバー 2- 超高真空ゲートバルブ 3- スパッタリングイオンポンプ {{7} } チタンサブリメーションポンプ 5- 超高真空バルブ 6- ブリードバルブ 7- 高真空バルブ 8- モレキュラーシーブポンプ 9- 吸着トラップ 10- 機械式ポンプ

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