高真空システム

高真空システム
高真空システムは広く使用されており、その使用圧力範囲は一般に1.33×10-2〜1.33×10-3Paです。 一般的なポンプ システムは次のとおりです。
(1) 拡散ポンプシリーズメカニカルポンプ真空システム。 図5-2に示すように、このシステムは、運転中の排気ガスが比較的少ないアプリケーション機器で一般的に使用される10-2〜10-5Paの真空度を得ることができます。 このシステムは、構造が簡単で、動作が確実で、コストが低いという利点があります。 欠点は、システムの起動が遅く、事前描画時間が長いことです。 拡散ポンプの油蒸気は真空チャンバー内に逆流しやすいです。
(2) 拡散ポンプ直列オイルブースターポンプ、次に直列メカニカルポンプ真空システム。 このシステムの事前描画時間は短いですが、起動が遅くなります。
(3) 拡散ポンプシリーズ ルーツポンプ、次にシリーズメカニカルポンプ真空システム。 始動は遅いですが、プレポンピング時間は短いです。

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