エアタンク
Oct 12, 2023| エアタンク
小型拡散ポンプ高真空ポンプ群は、通常、拡散ポンプとフロントポンプの間に配置され、拡散ポンプが吐出したガスを貯留するガスタンクを備えて構成されている。 ガソリンタンクを設置する理由は次のとおりです。
1) システムの衝撃保護の必要性
真空システムの作動中、プロセスによっては厳しい耐衝撃性が要求されるため、前者の機械式真空ポンプは真空チャンバーが作動している間、一定時間作動を停止する必要があります。 この間、拡散ポンプから排出されるガスはすべてガスタンクに蓄えられ、機械式ポンプの代わりにガスタンクを使用して拡散ポンプの正常な動作を維持します。
２）作業サイクルを短縮するために
一部の生産プロセスでは、拡散ポンプ ヒーターを閉じずにコンポーネントと充填を交換するために、真空チャンバーを大気中に入れる必要があります。 真空ユニットのフロントポンプはプレポンプポンプとして使用されます。 装填後、真空チャンバーは機械ポンプで事前に排気され、この間、ガスタンクは拡散ポンプ (フロントポンプとして) を維持するために使用されます。
3) 真空チャンバー内の瞬間的な大量のガス放出が拡散ポンプの正常な動作に影響を与えるのを防ぐため
真空プロセス生産では、一定時間内の排気量は特に多くなりますが、時間は短時間です。 この時点で最大排気量に応じて機械式ポンプを構成することが経済的でない場合は、この時点でシステム内に前段貯蔵タンクを構成して、最大排気量でガスの一部を貯蔵することで、拡散ポンプの前段圧力が最大逆圧を超えている。
4) 拡散ポンプ出口圧力を安定させるために使用されます。
機械式真空ポンプの排気はパルス状であるため、周波数は高くありませんが（通常7回/s程度）、拡散ポンプの出口圧力にも変動が生じますが、ガスタンクの設定によりその変動を軽減できます。変動。
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