メカニカルポンプ直列ターボ分子ポンプの真空システム

メカニカルポンプ直列ターボ分子ポンプの真空システム

図 5-14 はシステムを示しています。 このシステムはベーキングなしで10-6Paの真空度を得ることができ、ベーキング後の真空度は10-8Paに達します。 比較的クリーンなシステム特性があり、オイルフリーの超高真空システムを形成できます。

図 5-14 ターボ分子ポンプ超高真空システム: 1- 真空チャンバー 2- 熱電対真空計 3-BA 真空計 4- 超高真空バルブ {{8 }} ターボ分子ポンプ 6- フロントポンプ 7- 電磁弁 8- メカニカルポンプ

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