DCパルスバイアス

DCパルスバイアス
主な特徴：
1. DCバイアスと比較して、ワークピースへの高周波ユニポーラパルスバイアス圧力は、電圧遮断ギャップの存在により、ワークピースの表面を保護するために照明の数を効果的に減らすことができます。
2.パルスギャップ中に、ワークピースの表面に蓄積された電荷を中和することができるため、蓄積された表面電荷による点火を低減できます。
3.高周波インバーター技術の高速ターンオフ機能は、照明の外観でも、各照明によって放出されるエネルギーを効果的に削減でき、ワークピースの表面の損傷度を大幅に削減できます。
4.パルスギャップ中にワークピース表面に堆積するイオンエネルギーは非常に低いです。
5.周波数とデューティサイクルを調整することにより、成膜速度と品質を改善および制御できます。

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