PVD技術-マグネトロンスパッタリング電源の複数の電源

PVD技術-マグネトロンスパッタリング電源の複数の電源

1970年代に飛躍的に飛躍して開発されたマグネトロンスパッタリング技術は、主にバランスのとれたマグネトロンスパッタリング、非バランスマグネトロンスパッタリング、反応スパッタリング、コスパッタリング、パルスマグネトロンスパッタリングなどのいくつかのマイルストーンステージを経験しています。マグネトロンスパッタリングで使用される電源の種類によれば、マグネトロンスパッタリング技術はDCマグネトロンスパッタリング、中間周波数マグネトロンスパッタリング、RFマグネトロンスパッタリング、パルスマグネトロンスパッタリングに分けることができます。

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