PVDテクノロジーのいくつかの電源-バイアス電圧電源

PVDテクノロジーのいくつかの電源-バイアス電圧電源

バイアス電源は、真空物理蒸着装置の重要なコンポーネントです。真空イオンデポジションでは、バイアス電源が成膜品質に重要な役割を果たします。バイアス電圧とは、コーティングプロセス中に基板に印加される負の電圧を指します。バイアス電源の正極は真空チャンバーに接続され、真空チャンバーは接地され、バイアスの負極はワークに接続されます。アースの電圧は一般にゼロ電位と見なされるため、ワークピースの電圧は負のバイアスと呼ばれます。バイアスは、体内の真空プラズマ帯電粒子のエネルギーを改善し、メッキ表面を衝撃で洗浄し、高エネルギー粒子の衝突後に新しい表面を介して表面を作り、堆積膜層の付着強度を改善します。フィルムと基板の間にバイアスをかけ、両方の遷移金属層との互換性を生成します。これにより、フィルム層と基板は、電圧出力の極性の異なる方法に依存したり、堆積ルールを変更したり、コーティングの色や性能を調整したりできます。さらに、基板は荷電イオンの衝撃によって加熱されます。波形によれば、Dcパルスバイアス、Dc重畳パルスバイアス、双極パルスバイアスに分類できます。

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