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DLCコーティング機

IKS - DLC1250 DLCコーティング機は、ダイヤモンド-のようなコーティングの低温でのIKSに依存しない研究開発であり、独自のイオン源とDC平面スパッタリングターゲットソース技術を採用し、ダイヤモンドとグラファイトは、安定した品質と基板結合力が優れていることを特徴とし、高硬度と優れた研削性、優れた耐接着性、優れた耐食性、その他の優れた総合性能を備えています。 エンジン部品、非-鉄金属切断、スタンピングモールドおよびスライディングシール部品、医療機器および電気器具、繊維産業などで広く使用されています。

  • 製品説明

IKS -DLC1250DLCコーティング機

特徴

1.コーティング温度は一般に200度未満で、-温度での膜形成が低く、-高温でのベーキングに適さない一部の材料に使用できます。 炉内の温度は室温から300度まで調整可能です。

 

2. DLCフィルム層のSP3キーの割合は、約60%から70%です。 お客様の要件に基づいて、SP3キーとSP2キーの比率を調整できます。

 

3.自動制御システムを採用し、プロセスの安定性と再現性が大幅に向上しました。


4.高硬度、低摩擦係数、耐摩耗性、耐食性、良好な接着性、および環境保護特性を備えています。

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機器の概要

 

IKS - DLC1250コーティング機は、ダイヤモンド-のようなコーティングの低温でのIKSに依存しない研究開発であり、独自のイオン源とDC平面スパッタリングターゲットソース技術を採用し、ダイヤモンドとグラファイト間のDLCコーティングの性能を発揮します。は、安定した品質と基板結合力が良好で、硬度が高く、研削性に優れ、耐接着性に優れ、耐食性に優れ、その他の総合性能に優れていることが特徴です。 エンジン部品、非-鉄金属切断、スタンピングモールドおよびスライディングシール部品、医療機器、電化製品、繊維産業などで広く使用されています。


機器パラメータ


チャンバーサイズ

Ф1100 XH1300

有効サイズ

Ф810 XH900

テクニカル

CBプラススパッタプラスPACVD

積載能力

16パック xφ120

標準コーティング

ダウンロードコンテンツ

その他のコーティング

CRプラスWCプラスDLC

コーティングサイクル

5〜7時間/バッチ

外側のサイズ

L4300 XW2700 XH2200 mm

アプリケーション

工具、金型、金型付属品、3C部品などに適しています。

 

コーティングされた製品


 DLC coated parts


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