DLCコーティング機
IKS - DLC1250 DLCコーティング機は、ダイヤモンド-のようなコーティングの低温でのIKSに依存しない研究開発であり、独自のイオン源とDC平面スパッタリングターゲットソース技術を採用し、ダイヤモンドとグラファイトは、安定した品質と基板結合力が優れていることを特徴とし、高硬度と優れた研削性、優れた耐接着性、優れた耐食性、その他の優れた総合性能を備えています。 エンジン部品、非-鉄金属切断、スタンピングモールドおよびスライディングシール部品、医療機器および電気器具、繊維産業などで広く使用されています。
- 製品説明
IKS -DLC1250DLCコーティング機
特徴
1.コーティング温度は一般に200度未満で、-温度での膜形成が低く、-高温でのベーキングに適さない一部の材料に使用できます。 炉内の温度は室温から300度まで調整可能です。
2. DLCフィルム層のSP3キーの割合は、約60%から70%です。 お客様の要件に基づいて、SP3キーとSP2キーの比率を調整できます。
3.自動制御システムを採用し、プロセスの安定性と再現性が大幅に向上しました。
4.高硬度、低摩擦係数、耐摩耗性、耐食性、良好な接着性、および環境保護特性を備えています。

機器の概要
IKS - DLC1250コーティング機は、ダイヤモンド-のようなコーティングの低温でのIKSに依存しない研究開発であり、独自のイオン源とDC平面スパッタリングターゲットソース技術を採用し、ダイヤモンドとグラファイト間のDLCコーティングの性能を発揮します。は、安定した品質と基板結合力が良好で、硬度が高く、研削性に優れ、耐接着性に優れ、耐食性に優れ、その他の総合性能に優れていることが特徴です。 エンジン部品、非-鉄金属切断、スタンピングモールドおよびスライディングシール部品、医療機器、電化製品、繊維産業などで広く使用されています。
機器パラメータ
チャンバーサイズ | Ф1100 XH1300 | 有効サイズ | Ф810 XH900 |
テクニカル | CBプラススパッタプラスPACVD | 積載能力 | 16パック xφ120 |
標準コーティング | ダウンロードコンテンツ | その他のコーティング | CRプラスWCプラスDLC等 |
コーティングサイクル | 5〜7時間/バッチ | 外側のサイズ | L4300 XW2700 XH2200 mm |
アプリケーション | 工具、金型、金型付属品、3C部品などに適しています。 | ||
コーティングされた製品

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