- 製品説明
l アプリケーション:
眼鏡、反射鏡、携帯電話のバックボード、保護カバー、光通信、光学ディスプレイなど
l 設備概要
IKS-OPT2700は、大面積の光学フィルムコーティング用に設計されており、電子ビーム蒸着コーティングマシンです。 コーティング機システムは、真空チャンバー、真空ポンプ、真空検出および制御、基板加熱システム、電子ビーム蒸着システム、イオン源アシスト蒸着システム、抵抗蒸着システム、膜厚監視システム、作動ガス体積流量制御システム、ワークピースで構成されていますPLCによって制御される回転システムおよび自動コーティング。
蒸発材料は、フッ化イットリウム、フッ化プラセオジム、ゲルマニウム、硫化亜鉛、フッ化マグネシウム、二酸化チタン、二酸化ケイ素、ジルコニア、コバルト、ガリウム、セレン、および他の金属などの希少金属で一般的に使用されます。 銅、モリブデン、シリコン、ゲルマニウム、および他の金属は、反射板の光学材料に一般的に使用されています。
可視光カラーフィルム、アルミニウム反射フィルム、AF指紋防止フィルム、低融点有機フィルム、可視光分光フィルム、可視光反射防止フィルムなどをコーティングできます。
l 設備の特徴
IKS-OPT2700大面積光学フィルムコーティングシステム、再最適化真空チャンバー構造、革新的な極低温ポンプレイアウト、安定したワーク回転フレーム設計、高度な電子ビーム蒸着システム、調整可能な均一性調整装置および人間化された自動コーティングプロセス制御を使用して、安定した真空プロセス環境、最高のコーティングプロセスを得て、高品質のコーティング製品を得ました。
1.チャンバーサイズ。 7002700×H1670 | 8.床面積:L6×w5.5×H3.5m |
2.真空度:究極の真空:6×10 -4 Pa( 加熱なしで24時間無負荷 ) | 9.重量:8000kg、床重量 ﹥ 1000kg / m2 |
3.漏れ率: 4×10 -3 Pa×L / S(ヘリウム漏れ検査) | 10.Temperature: 250 ℃ への室温で、温度の均一性±5% |
4.働く真空:6×10 -3 Pa( 自動プロセス始動 ) | 11.電源:三相、380V 、 50Hz 、 60-100KW |
5.低真空:10分 < 10Pa | 12.水冷:チャンバーフロー > 4000L / H、ポンプ流量 > 1800L / H、冷凍コンプレッサー > 1600L / H |
6.高真空:6分 8×10 -3 Pa | 13.温水:蒸発源1800L / H、35-60 ℃ |
7.真空測定: プロセス全体の監視とリアルタイムのポイント収集 |
l 技術的パラメータ
膜厚モニタリング
| 1.PLC統合制御 2.ファインフィルムデポジション、0.01nm / s 3.電子銃との高速熟成対応 |
フロー制御 | 制御範囲: 3〜100sccm 、 5-500sccm、イオン源との正確なリンケージ、同期制御、流量制御、 安定した出力、安定したイオンエネルギーは安定しています |
電子ビーム源 | タイプ:10KW、A 270-度のたわみ。 0.5%未満のリップル、正確な制御スポット形状、サイズ、システム制御動作の安定性、高精度。 銃のタイプ:タングステンフィラメント、耐久性のあるタイプ |
抵抗蒸発源 | タイプ:タングステンボートは加熱により蒸発します。 数量:2セットの電極、設置を選択 特殊なコーティングプロセスに適した、蒸発の機能を達成するための機能材料または金属材料を目指して |
イオン源 | タイプ:4KWホールイオン源、ハイビーム、広角の発散角、取り外し可能なアノード、メンテナンス、クリーニングが非常に簡単 |
制御システム | PCインターフェース:17インチ、1セット。 TPタッチスクリーン:15インチ。1セット。 メインシステム:IKS自動プログラマブルロジック制御。 IKS PVDが開発した自動プロセス制御システムは、プロセスのリアルタイム記録と障害のフィードバックのためのインテリジェントなオペレーティングシステムです。 完全な統合の人間化設計、および個人化されたニーズを満たす ため、安全でインテリジェントな操作システムの設計、操作の正確な制御を提供します。 |
安全な設計 | 主回路保護スイッチ、接地保護、コンポーネント異常アラーム、システム操作リアルタイム監視保護 |
l 製品の優位性
技術革新
1. 製品の合理的な統合と技術革新の結果、プロセス環境の改善、コーティングシステムの安定した動作の実現!
2.製品構造の設計革新は合理的で、しっかり、簡潔で、メンテナンスは便利です! (ユーザースタンスデザイン!)
3.操作およびオペレーティングシステムの革新的な開発、簡単な操作、効率的かつ実用的!
4.高品質のコーティングプロセスを実現し、効率、均一性、優れた再現性を向上させる製品とプロセス技術!
5.コーティングシステムの動作をインテリジェントに制御します。
6.安全システムの最適化、障害プロンプト、詳細な解決ソリューション!
7.高効率、生産および管理コストの削減!
技術的特徴
1. 完璧なIKSテクノロジーと製品パフォーマンスのシームレスなドッキング統合により、信頼性が高く安定した製品設計
固定式、安全、インテリジェントコーティングシステム!
2.真空取得、真空取得システムの再最適化された設計、迅速で安定した真空環境に対応!
3.プロセスを達成するための蒸発源とイオン源、合理的なレイアウト、高品質の加工技術、試運転技術
プロセス自動調整、電子ビームの革新的な構造、正確な速度により、材料の堆積がより正確で安定します。
4.自動運転制御システム、正確で安定したシステムの新開発! シンプルなセットアップ、簡単な操作!
コーティング製品

ミクロンスケールのPVDコーティング層の厚さ、平均0.1ミクロン〜5ミクロンの薄い厚さ、装飾コーティングの厚さは通常0.1ミクロン〜1ミクロンであるため、ワークピースの元のサイズに影響を与えずにほとんど行うことができますワークピースの表面のあらゆる種類の物理的特性と化学的特性、およびワークピースのサイズを維持することができ、PVDコーティング後のさらなる処理は必要ありません。
コーティングできるPVD装飾コーティングの色は何ですか? フィルムの色は、サファイア、スカイブルー、インクブルー、浅い金色(0.5 N金)、日本(1)N金、金24 k金、模造金、シャンパン金、黄色のジルコニウム、グレー、パープル、IP IPS(316 lステンレス鋼とクロム)、IPS(クロムターゲット)、ローズゴールド(90%)のゴールド、ローズゴールド(82%)のゴールド、ローズゴールドゴールド(85%)、IPブラッククロム(ターゲット)、IPブラックシリコンクロム(9:1)、IPブラック(炭化タングステン)、レインボーカラー、ライトブラウン、ブラウン、パープル、ブラウン、パープル、スカイグレー、ゴールデン、ライトブルーなど。コーティング缶の色コーティングプロセスのパラメータを制御することにより制御されます。 コーティング後、関連する機器で色の値を測定できるため、色を定量化して、コーティングされた色が要件を満たしているかどうかを判断できます。 装飾コーティングの主な目的は、ワークの外観の装飾特性と色を改善すると同時に、ワークの耐摩耗性を高め、耐用年数を延ばすことです。 この側面は、主にハードウェア、建築材料、時計、時計、宝石、携帯電話、電子機器、デジタル製品、自動車、オートバイ、装飾などに適用されます。
PVDツールコーティング層には、主にワークピースの表面硬度と耐摩耗性を改善する目的で、TiN、TiCN、TiAlN、CrN、TiB2、DLC、AlTiN、TiAlCrN、TiAlCN、ツールコーティングがあり、表面の摩擦係数、耐酸化性を低減します、ワークの耐用年数を改善します。 この側面は、主にさまざまな切削工具、旋削工具(歯車切削工具、シェービングブレード、旋削工具、プランニングツール、フライス、ドリル、カッターグレインなど)、およびあらゆる種類の金型で使用されます。射出成形、ダイカスト、スタンピング、成形)およびその他の製品。
製品にPVDコーティング表面処理を適用する場合は、今すぐお問い合わせください。 E-mail:iks.pvd@foxmail.com、当社はPVDコーティング装置とPVDコーティングサービスを提供できます。
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