イオンプレーティングのプロセス

イオンプレーティングのプロセスは次のとおりです。

蒸発源はアノードに接続され、ワー​​クピースはカソードに接続されます。 3000〜5000ボルトの高電圧直流電流を流した後、蒸発源とワークピースの間にグロー放電が発生します。 真空カバーには不活性アルゴンが充填されているため、放電電界の作用でアルゴンの一部がイオン化され、カソードワークの周囲にプラズマ暗領域が形成されます。 正電荷のアルゴンイオンは陰極の負圧に引き寄せられてワーク表面に激しく衝撃を与え、ワーク表面の粒子や汚れを吹き飛ばし、ワーク表面をめっきします。イオン衝撃によって完全に洗浄されました。 次に、蒸発源の交流電源が接続され、蒸発する材料粒子が溶融して蒸発し、グロー放電ゾーンに入り、イオン化される。 正電荷の蒸発物質イオンでは、陰極の引力の下で、アルゴンイオンとともにワークピースに突入し、ワークピースの表面の蒸発物質イオンがスプラッシュイオンの数を超えると、徐々に蓄積されて、ワークピースコーティングの表面。 これは、イオンプレーティングの簡単なプロセスです。

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