マグネトロンスパッタリング

マグネトロン スパッタリングは、広く使用されている薄膜堆積技術であり、低圧ガス環境中でターゲットに高エネルギーのイオンを衝突させて、基板上に薄膜を生成します。 この技術は、マイクロエレクトロニクス、光学、エネルギー、航空宇宙などのさまざまな業界で、先進的な材料やデバイスを製造するために広く使用されています。

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