誘電体層バリア放電強化化学蒸着 (DBD-PECVD)

DBD-PECVD は、放電空間に絶縁媒体を挿入した非平衡ガス放電です (誘電体バリア コロナ放電または無声放電とも呼ばれます)。 この放電方法は、グロー放電の大空間均一放電とコロナ放電の高圧動作という特徴を持ち、シリコン薄膜の作製に徐々に使用されつつある。

IKS PVD会社、装飾塗装機、工具塗装機、DLC塗装機、光学塗装機、PVD真空塗装ライン、ターンキープロジェクトをご利用いただけます。 今すぐご連絡ください。メール: iks.pvd@foxmail.com