超高真空装置

超高真空装置

拡散ポンプシリーズ メカニカルポンプシリーズ コールドトラップシステム
図 5-13 は、真空システム、拡散ポンプ シリーズ 2 つの液体窒素コールド トラップを示しています。真空チャンバーとコールド トラップ 6 は 400 ～ 450 度のベーキングに耐えることができます。 この温度であれば、真空チャンバー壁面やコールドトラップ壁面に吸着したガスや凝縮したポンプオイルを除去することができます。 このシステムは通常、1.33×10-7Paの限界真空を得ることができます。

▲ 図 5-13 油拡散ポンプ超高真空システム: 1- 真空チャンバー 2- 熱電対真空計 3-BA 真空計 4- ブリードバルブ {{7} } 超高真空バルブ 6、7- コールドトラップ 8- 電離真空計 9- 拡散ポンプ 10- フロントパイプバルブ 11- フロントトラップ 12-電磁弁13- メカニカルポンプ14- 超高真空パイプバルブ15- ベーキング装置

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