スパッタリングイオンポンプオイルフリー超高真空システム

スパッタリングイオンポンプオイルフリー超高真空システム
図5-15にシステムの概念図を示します。 スパッタリングイオンポンプがメインポンプで、2台のモレキュラーシーブポンプがプリポンピングポンプとして使用され、1台は真空チャンバーおよびスパッタリングイオンポンプ内の大気圧下のガスを除去するために使用され、もう1台は真空チャンバー内の大気圧下のガスを除去するために使用されます。ベーキングとイオンポンプの起動時に発生するガスを除去します。

▲ 図5-15 スパッタリングイオンポンプオイルフリー超高真空システム: 1-真空チャンバー2-BA真空計3-超高真空バルブ4-ウルトラ-高真空ゲートバルブ 5- スパッタリングイオンポンプ 6- 高真空バルブ 7- モレキュラーシーブポンプ 8- 熱電対真空計

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