イオンプレーティングの作用過程

イオンメッキの動作プロセスは次のとおりです。蒸発源はアノードに接続し、ワークピースはカソードに接続し、3〜5,000ボルトの高電圧DCに接続すると、蒸発ソースとワークピースがグロー放電を生成します。 真空カバー内の不活性アルゴンガスにより、アルゴンガスの一部が放電電界の作用下でイオン化され、カソードワークピースの周囲にプラズマ暗部が形成されます。 負の陰極高圧により引き付けられた、正に帯電したアルゴンイオンはワークピースの表面に激しく衝突し、ワークピースの表面粒子と汚れをはね飛ばします。その結果、めっきされるワークピースの表面はイオンで完全に洗浄されます。砲撃。 その後、蒸発源の交流電源がオンになり、蒸発材料の粒子が溶融して蒸発し、グロー放電領域に入り、イオン化されます。 正に帯電した蒸発材料イオンは、カソード引力の下で、アルゴンイオンとともにワークピースに突入します。 ワークピースの表面に堆積した蒸発材料イオンがこぼれたイオンの数を超えると、それらは徐々に蓄積してワークピースの表面にしっかりと付着したコーティング層を形成します。 これは、イオンプレーティングの簡単なプロセスです。

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