呼び水ポンプ

Oct 10, 2023|

呼び水ポンプ
プレポンプポンプ（粗ポンプポンプ）は主に真空チャンバ内の大量のガスを除去するために使用され、真空チャンバ内のガス圧力が大気圧からメインポンプが起動できる真空度まで減圧されます。したがって、プレポンピングポンプによって達成される圧力はメインポンプの開始作動圧力よりも低い必要があり、ユニットによって選択されるプレポンピングポンプのポンピング速度は粗ポンピング時間によって決まります。真空ユニットの稼働率を向上させるために、プレポンプポンプをプレポンプとして使用し、真空バルブを使用して2つの異なるポンプ機能を分離して切り替えることができます。

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