高真空ポンプグループ

高真空ポンプグループ
高真空ポンプ群は分子流状態で動作し、低真空ユニットに比べて作動圧力が低く（10-2～10-6Pa）、排気量が少なく、排気速度が大きいのが特徴です。 。 通常、ユニットのメインポンプは拡散ポンプ、拡散ブースターポンプ、分子ポンプ、チタンサブリメーションポンプ、低温凝縮ポンプなどです。これらのポンプは大気中では直接作動できないため、前段ポンプを構成する必要があります。一部の拡散ポンプには、システム内の圧力変動を防止し、ユニットの排気性能を向上させるために前段メンテナンス ポンプまたはガス タンクが装備されています。

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