油封式メカニカルポンプユニットの凝縮性ガス除去対策

油封式メカニカルポンプユニットの凝縮性ガス除去対策

油封式機械ポンプは、大量の水蒸気を含むガスの圧送には適していません。 圧縮プロセス中に水蒸気が凝縮して水滴となり、ポンプオイルと混合して懸濁液を形成し、ポンプのポンプ性能を破壊し、ポンプの真空度を低下させます。 一般的な対策としては、ガスバラスト装置を備えた油封式メカニカルポンプを使用し、ポンプの作動温度を75～90℃に制御してガスバラストバルブの負担を軽減する。 装置内に水蒸気分離装置や油水分離装置を設置し、水と混合した機械ポンプ油を処理し、ポンプに使用します。 さまざまな乾燥吸着剤を使用して、水蒸気を吸収するトラップトラップを作成します。 各種コンデンサーやコールドトラップを使用することで、水蒸気を効果的に吸着できるだけでなく、メカニカルポンプから真空チャンバーへの油蒸気の逆流も防ぐことができます。

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