低真空ポンプグループ

低真空ポンプグループ

低真空ポンプグループの作動圧力範囲は約1330Pa～100Paで、主に作動圧力が高く排気量が多いことが特徴ですが、排気速度は中高真空ユニットに比べて遅くなります。 真空チャンバーの粗排気や真空搬送、真空含浸、真空ろ過、真空乾燥、真空脱ガス（溶鋼処理）など、吐出量が大きく使用圧力が高い装置に広く使用されています。

低真空ポンプグループのメインポンプは、一般的に使用される往復真空ポンプ、油封式メカニカルポンプ、ドライメカニカルポンプ、ウォータージェットポンプ、水蒸気ジェットポンプ、ウォーターリングポンプ、モレキュラーシーブ吸着ポンプ、ウェットルーツポンプなどです。通常の状況では、低真空ユニットのメインポンプにより大気を直接排気できます。 低真空ポンプ群を使用する場合は、排気ガスの清浄度や湿度などの特殊条件に応じて、集塵機、水気分離器、油水分離器、乾燥やオイルトラップなどを構成する必要があります。要件。

IKS PVD会社、装飾塗装機、工具塗装機、DLC塗装機、光学塗装機、PVD真空塗装ライン、ターンキープロジェクトをご利用いただけます。 今すぐご連絡ください。メール: iks.pvd@foxmail.com