電子銃ツールコーティングシステム

パラメーター：

1.9個ビッグアーク

2. トップカバーは電子銃を装備しています

3.ポンプシステム：ターボ分子ポンプ+ルーツポンプ+保持ポンプ

4.真空試験： 2つの低真空計と1つの高真空計

全体に カルーセル l全体 、2セットのカルーセルトロリーを装備

6.真空チャンバーサイズ：φ1200×H1100

7.職業サイズ：W：4m x L：4m

アプリケーション：

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