
- 製品説明
PVDコーティング機の写真

PVDコーティングマシンのパラメーター
チャンバーサイズ | φ1200 * H950 | 有効空間 | φ650 * H600 |
基質の最大直径*量 | φ150 * 12 个 | ポンピング時間 | atm to 6X10 -3 <> |
動作電圧/周波数 | 380V / 50Hz | 本当の力 | 70 KW |
技術 | HCD + ARC | 目標量 | 12個 |
究極の圧力 | 5.0 * 10 -4 Pa | 漏れ率 | 10-3 Pa.L / s |
標準コーティング | TiN 、 CrN 、 AlTiN 等 | オプションのコーティング | TiAlCrNなど |
ターンテーブル構造 | ダウン構造 | チャンバー構造 | 縦型シングルドア |
電源タイプ | アークパワー、パルスバイアスパワー、電子銃パワー | ポンプシステム | ターボ分子ポンプ、ルーツポンプ、 モノブロックポンプ |
コーティングサイクル | 3-6時間/炉 | 全体のサイズ | L4200 * W3200 * H2200MM |
収量 /炉 | フライスカッターφ10 * 70 880pcs ナイフ粒子 φ18 * 6 6400 ホブスφ80 * 80 64 モデル500KG | 一致条件 |
圧縮空気 : 4-6 KG / CM3
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制御方法 | 手動 + 半自動 +
/ タッチスクリーン + PLC 自己開発のコーティングソフトウェア | 作動ガス | Ar 、 N 2 、 O 2 、 C 2 H 2 |
リマーク | 真空チャンバーのサイズ、全体のサイズ、機器の外観は、顧客の製品または特別なプロセス要件に従ってカスタマイズできます | ||

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