真空電源

パルスバイアス電源

パルスバイアス電源は、高度な高周波インバータとIGBTパワーモジュールにより幅広い利用可能な技術により、フィルム品質、低温、接着性を効果的に改善し、堆積速度を改善することができます。 。

ハイパワーパルスマグネトロン電源

高出力パルスマグネトロン電源高出力パルスマグネトロンスパッタリング技術（HIPIMS）の利点●従来のDCマグネトロンインパルス電力は、ターゲットの熱応力によって制限されます。 ●イオン衝突エネルギーの大部分は、直接的に熱エネルギーに変換することができます。

高出力中間周波数マグネトロンスパッタ電源

高出力中間周波マグネトロンスパッタリング電源特長●高出力MFマグネトロンスパッタリング電源は、電力要件を十分に満たすことに基づいて、適切かつ迅速にアーク消弧の機能を実現することができます。 電源は完璧なディスプレイを備えています...