ZY-1209金型マルチアークイオン真空コーティング装置のシール要素のスペアパーツ
スペアパーツ一覧
- 製品説明
スペアパーツ一覧
| NO。 | 項目 | 材料 | 数量 | 目的 |
| 1 | リップタイプパッキングL3960 | 真空ゴム | 1 | シリンダー |
| 2 | Oリングφ22x4 | FKM | 1 | バイアス電圧 |
| 3 | Oリングφ30x3.5 | FKM | 1 | バイアス電圧 |
| 4 | Oリングφ8×3 | FKM | 4 | インフレーションセット |
| 5 | Oリングφ2.5x2.5 | FKM | 2 | 温度計 |
| 6 | Oリングφ84x5 | FKM | 1 | ドライブシャフト |
| 7 | オイルシール35x55x12 | FKM | 3 | ドライブシャフト |
| 8 | Oリングφ90×5 | FKM | 1 | ドライブシャフト |
| 9 | Oリングφ105x4 | FKM | 3 | 検査ウィンドウセット |
| 10 | Oリングφ85x4 | FKM | 6 | 検査ウィンドウセット |
| 11 | オイルシール8x22x7 | FKM | 6 | 検査ウィンドウセット |
| 12 | Oリングφ20x4 | FKM | 3 | 検査ウィンドウセット |
| 13 | Oリングφ42.5x5.3 | NBR | 4 | 単位 |
| 14 | Oリングφ54.5x5.3 | NBR | 9 | 単位 |
| 15 | Oリングφ258x5.3 | NBR | 3 | 単位 |
| 16 | Oリングφ106x5.3 | NBR | 6 | 単位 |
| 17 | Oリングφ109x5.3 | NBR | 1 | 単位 |
| 18 | Oリングφ85x4 | NBR | 1 | 単位 |
| 19 | Oリングφ25x4 | FKM | 10 | 周辺機器ヒーター |
| 20 | Oリングφ48x4 | FKM | 1 | ディスク型ヒーター |
| 21 | オイルシール15x35x10 | FKM | 2 | 格子弁 |
| 22 | Oリングφ42x4 | FKM | 2 | 格子弁 |
| 23 | Oリングφ15×4 | FKM | 12 | アークソースバッフル |
| 24 | Oリングφ48x4 | FKM | 4 | アークソースバッフル |
| 25 | Oリングφ285x6 | FKM | 3 | トリニティバルブ |
| 26 | Oリングφ64x4 | FKM | 3 | トリニティバルブ |
| 27 | Oリングφ24x4 | FKM | 9 | トリニティバルブ |
| 28 | Oリングφ245x5 | FKM | 3 | トリニティバルブ |
| 29 | Oリングφ570x8 | FKM | 1 | トリニティバルブ |
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