WTi（タングステンチタン）ターゲット材

WTi（タングステンチタン）ターゲット材料

タングステンチタン合金は、電子移動度が低く、安定した熱機械特性、優れた耐食性、優れた化学的安定性を備えています。 最近、タングステン - チタン合金スパッタリングターゲットが、半導体チップのゲート回路のコンタクト層材料として使用されています。 さらに、タングステンおよびチタンのターゲットは、半導体デバイスの金属接続のバリアとしても使用できます。 高温環境で使用され、主にVLSIや太陽電池に使用されます。

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