超高真空ユニットの特性と分類

10-5pa以上で作動する超高真空装置には、拡散ポンプ、分子ポンプ超高真空装置および油分のない超高真空装置が含まれる。 ユニットの特徴は次のとおりです。

メインポンプの最大真空度は10-7〜10-8paです。

（2）200~450℃の焼成の高温に耐えることができます。

メインポンプの戻りガスの分圧は低い。

高選択性の主ポンプには、十分に大きな補助ポンプを装備しなければならない。

（1）拡散ポンプの超高真空ユニット

拡散ポンプを主ポンプとする超高真空装置の究極の真空は10-7〜10-8paです。

拡散ポンプの前段からのガスの逆拡散と機械的なポンプ油の逆拡散が最終的な真空度に与える影響を低減するために、より低いポンプ速度の拡散ポンプを前段拡散ポンプは圧縮比を減少させ、拡散を逆にする。 拡散ポンプの入口にチタンの昇華トラップを加えれば、拡散ポンプからの窒素分圧をさらに低減することができ、10-11Paの超高真空を得ることができる。

（2）分子ポンプの超高真空ユニット

主に分子ポンプを使用する超高真空装置の最大真空度は10-8paで、クイックスタートと低油汚染が特徴です。

ユニットに液体窒素コールドトラップを追加することで、ポンピング速度を上げることができます。 機械式ポンプの出口には、油蒸気がシステムに入るのを防止するための水冷トラップが設けられている。

（3）オイルフリーの超高真空装置

作動液を作るためにオイルを使用せず、有機材料でシールしない真空ユニットは、オイルを含まない超高真空ユニットと呼ばれています。 一般的に使用される主ポンプには、低温ポンプ、チタンポンプ、スパッタリングイオンポンプなどがあります。オイルバキュームユニットと比較して、以下の利点があります。

清浄な真空と汚染源は得られません。

オイルフリーの真空ポンプが始動すると、プレポンプを隔離することができる。

突然の換気が停止すると、システムは汚染されません。

油がなく、騒音も振動もなく、作業環境が改善されています。

端子の真空度が高く、排気速度が速く、排気時間が短い。