イオンポンプが水素を送り出す速度

イオンポンプが水素を送り出す速度

イオンポンプは、水素ガスを非常に高速で送り出します。これは主に、水素ガスが陰極の奥まで拡散することができ、その後のイオン衝撃によって放出されにくいためです。 また、チタン材中の水素の拡散性は非常に高いため、水素を排気する際にはイオンポンプは常に不飽和状態で動作していると考えられます。 同じイオン ポンプは、同じ圧力で窒素の 2 倍以上の速度で水素を汲み上げることができます。

図 2 - ダイオードと StarCell イオン ポンプの水素の排気速度
水素の分子量は非常に小さく、スパッタリング速度 (スパッタリング収量) は非常に低いため、イオンポンプが非常に低い圧力で動作しているとき、ガスソースが主に水素である場合、スパッタリングされる新鮮なカソード材料は非常に少量になります。 、水素との反応によって消費される確率は比較的低いです。 ただし、ポンピングされたガスに他の重いガスが含まれている場合、スパッタリング速度はそれに応じて増加し、水素のポンピング速度が速くなります。

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