イオンポンプによるメタンの抽出速度

イオンポンプによるメタンの抽出速度

メタンは加速器ビームの減衰の主な理由の 1 つです。 金属材料中の水素と炭素の反応生成物であるメタンは、超高真空システムにおける一般的なガス源です。
メタンは不活性ガスではありませんが、ゲッターと反応せず、イオンポンプでスパッタされた陰極材料とも反応しないため、通常のバイポーライオンポンプでは、不活性ガスのプロセスと同様にメタンの排気速度がほとんどありません。ガスが発生し、メタンを汲み上げたいため、より効率的な StarCell および Noble Diode イオン ポンプを埋め込む必要がありました。
イオンポンプのペニング放電により、メタン分子 (および他の炭化水素分子) は分解されて、より小さな粒子 (C、CH3、...H) に変換され、「汲み上げられる」可能性が高くなります。 StarCell イオン ポンプは、窒素よりもメタンと軽質炭化水素に対してさらに高速にポンプを送ります。

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