抵抗バキュームゲージ（Pirani Vacuum Gauge）の構造

Piraniゲージとしても知られている抵抗真空計は、熱フィラメント抵抗の変化に基づく圧力変化を反映しています。 主にゲージと測定回路で構成されています。 測定範囲は104~10-1Paです。

抵抗ゲージの構造を図1に示します。 高温係数抵抗線を巻いた円筒状スパイラル熱線がレギュレータケーシングに封入されている。 熱線の両端をゲージ管から引き出し、測定線を接続します。 ゲージシェルは、金属またはガラスで作ることができる。 金属シェルは、耐久性、熱いフィラメントの便利な除去などの利点を有する。欠点は、密封性能が低く、高価であることである。 ガラスシェルは、良好なシール性能と低価格の利点を有し、欠点は容易に損傷することである。

発熱線を巻き付ける抵抗線材の抵抗温度係数と抵抗率を表4-1に示します。その中でも、タングステン、白金、ニッケルが一般的に使用されています。 熱線の表面安定性を保証するために、熱線の表面を清浄化することに加えて、熱い線の表面上にガラス、石英またはタンタルの薄い層を適用して熱い高圧下で使用する場合はワイヤーを使用してください。 しかし、この方法は熱慣性を増加させると考えられている。

金属： タングステンプラチナニッケルクロムイリジウムモリブデン鉄銅

抵抗 温度

0℃における係数4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29

（10 ^-3 ・℃ ^-1 ）

0℃ における 比 抵抗 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59

p×10 ^-8 （Ω・m）

表4-1いくつかの金属の抵抗温度係数と抵抗率