DLC膜の構造モデル

DLC膜の構造モデル

DLC 膜は熱力学的非平衡状態にあり、その原子配列は短距離秩序と長距離無秩序の特性を示します。 短距離秩序は主に、CC 原子間の sp3 および sp2 ハイブリッド結合の構造に現れます。
最初のモデルは Beeman らによって提案され、sp3 および sp2 ハイブリッド炭素原子含有量が異なる非晶質炭素膜の 3 つのモデルを構築しました。 このモデルには 2 つの典型的な特徴があります。第一に、sp2 ハイブリッド構造モデルを除くすべてのモデルは、比較的等方性の無秩序なカオス ネットワーク構造に対応しており、内部に懸濁結合がありません。 第二に、結晶状態から逸脱した結合長と結合角によって引き起こされる歪みエネルギーを最小限に抑えるために、すべてのモデルが緩和されます。
2 番目のモデルは完全に抑制されたランダム ネットワーク モデルで、Phillips らによって提案され洗練されました。 このモデルの基本的な考え方は、非晶質のランダム共有結合ネットワークでは、抑制される原子の平均数が原子の機械的自由度に等しい場合、構造は完全に抑制されるというものです。 配位数を増やすと、より多くの共有結合が生成され、システム容量が減少するため、固体ネットワーク構造が安定化しますが、結合の伸張と結合角の変形により、より多くのひずみエネルギーが発生します。

IKS PVD会社、装飾塗装機、工具塗装機、DLC塗装機、光学塗装機、PVD真空塗装ライン、ターンキープロジェクトをご利用いただけます。 今すぐご連絡ください。メール: iks.pvd@foxmail.com