高周波 (RF) マグネトロン スパッタリング

高周波 (RF) マグネトロン スパッタリング
RFスパッタリングの特徴 ・RF方式でスパッタリング効果が得られる理由は、ターゲットに自己バイアス効果を与えることができるためです。 RFスパッタリング装置では耐圧や放電電圧が大幅に低下します。 ターゲットは指揮者である必要はなくなりました。

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