PECVD 装置の一般的な問題 - グローが不安定である

Jul 02, 2023|

PECVD 装置の一般的な問題 - グローが不安定である

電源電流が不安定です。電源が安定しているかどうかを測定してください。 (2) 真空チャンバーの圧力が不安定です。チャンバー真空システムの漏れ量が正常であるかどうか、チャンバーの空気吸入が正常であるかどうかを確認してください。 (3) ケーブルに不良がある場合は、ケーブルの接触が良好かどうかを確認してください。

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