圧力の測定

高真空、超高真空、超高真空の圧力測定に関しては、前述のベント効果のため、従来の圧力/真空計は適していません。 代わりに、電離真空計を使用して、チューブに入るガス分子の一部をイオン化し、これらのイオンを収集してイオン流を形成できます。 被測定ガス分子が発生するイオン流は、ある圧力範囲においてガスの圧力に比例するため、イオン流の大きさを測定することで被測定ガスの圧力値を反映することができます。

さまざまなイオン化方法に応じて、電離真空計は、熱陰極電離真空計 (最も広く使用されている)、冷陰極電離真空計、および放射性電離真空計の 3 つのカテゴリに分類できます。 本稿では主に熱陰極電離真空計と冷陰極電離真空計を紹介します。

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