熱陰極電離真空計の測定範囲

熱陰極電離真空計の測定範囲は10-2~10-11mbarに達しますが、圧力が高すぎると、粒子流と圧力の関係が線形から逸脱し、飽和する傾向があります。 測定範囲を広げるために、通常、ポンプの開始点（過大な圧力の場合）にピラニ真空計が使用されます。

なお、一般的な熱陰極電離真空計の測定下限は10-6Pa程度です。ゲートアノードに電子が衝突すると軟X線が発生し、イオンがイオン化すると光電子放出が起こります。コレクターはこの光線を受け取ります。 コレクタから放出される光子は、コレクタが収集するイオンと同等であるため、圧力に依存しないバックグラウンド光電流がイオンコレクタ回路内に形成され、これは測定時の圧力読み取り値約 10-6Pa で表されます。 バックグラウンド光電流の影響を排除し、熱陰極電離真空計、BA 電離真空計 (測定限界は 10-8Pa に達する可能性があります)、抑制真空計 (理論的には {{6}Pa に達することができます) の測定限界を拡大するために}Pa)、変調真空計(10-10Pa)、分離真空計(10-11Pa)など。

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