DLCコーティング-機械的特性の主な特性

DLCコーティングの主な特性-機械的特性

A.硬度と弾性率。異なる堆積法によって調製されるDLCフィルムの硬度および弾性率は大きく異なる。DLCフィルムの硬度は、磁気濾過陰極弧法によりダイヤモンドに到達あるいは超えることができ、カソードアーク法で作製したDLCフィルムの最大硬度は50GPa以上に達する可能性があります。非平衡マグネトロンスパッタリングと組み合わせたイオン源により調製されたDLCフィルムの硬度は21GPaに達した。膜層中の組成物は、膜層の硬度に一定の影響を及ぼし、Si及びNの組み込みはDLCフィルムの硬度を向上させることができる。DLCフィルムは、ダイヤモンド(1100GPa)よりも低い弾性率が高いが、一般的な金属およびセラミックスよりも著しく高い。

B.内部応力と接着強度フィルムの内部応力と接着強度は、フィルムの安定性と寿命を決定し、フィルムの性能に影響を与える2つの重要な要因です。高い内部応力と低い接合強度を有するDLCフィルムは、アプリケーションでひび割れ、折り畳み、あるいは脱落する傾向があるため、調製されたDLCフィルムは適度な圧縮応力と高い接着強度を有する必要があります。ほとんどの研究は、マトリックス上に直接堆積したDLCフィルムの膜/ベース結合強度が一般的に比較的低いことを示している。DLCフィルムとマトリックスの結合強度を向上させるために、Ti/TiN/TiCN/TiCの中間勾配転移層が採用されています。ダイ鋼に堆積したDLCフィルムの接着強度は44N-74Nに達する。膜の総厚さは5ミクロンに達することができる。

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