バイアス電源の重要な特性

バイアス電源の重要な特性

1分間あたりのアークアウト数（1分間あたりのアークアウト数） · · 大きなアークの検出感度（mJ/kWの検出可能なアークエネルギー） · バイアスバイアスの負荷特性 使用負荷はプラズマ、DCバイアス使用時、プラズマは抵抗を示します。パルスバイアスが使用されると、プラズマは抵抗 + 静電容量を示します。これは一連の抵抗器とコンデンサーと考えることができ、静電容量の性質は基板表面のプラズマ シースによって引き起こされます。

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