分子ポンプ運転中の周波数低下

Nov 18, 2021|

周波数の低下分子ポンプの動作中、ポンプの周波数は通常から特定の周波数に低下してから通常に戻り、次に特定の周波数に低下してから何度も正常に戻ります。 電源を交換した後も、このような現象が続いています。
原因:高負荷のため、システムが十分に掃除機をかけられていません
解決策:システムを確認してください

diffusion pump system

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