DLCの電気的特性と用途

DLCの電気的特性と用途

DLC 膜は優れた電気特性を持っています。 一般に、水素を含む DLC 膜の抵抗率は、水素を含まない DLC 膜の抵抗率よりも高くなります。これは、おそらく水素が膜中の sp3 相を安定化させるためと考えられます。 DLC の sp2 相は膜の抵抗率に直接関係しているため、蒸着プロセスとイオン ビームのエネルギーは DLC 膜層の抵抗率に大きな影響を与えます。 DLC フィルムは熱伝導率が高いため、チップ内の銅ラジエーターの絶縁抵抗として使用でき、通常の電力での熱膨張係数の不一致によって引き起こされる銅シートの傷を防ぐことができます。 さらに、DLC は腐食性媒体中で非常に高い化学慣性を示し、外部の腐食性媒体の腐食から基板を保護できます。 純粋な DLC フィルムは優れた耐食性を示し、さまざまな酸や塩基、さらには王水の浸食にも耐えることができます。 さらに、DLC 膜は電子親和力が低く、優れた冷陰極電界放出材料であり、重要な用途の 1 つは電界放出フラット ディスプレイ デバイス (FED) です。

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