DLCの作成方法

DLCの作成方法

DLC膜作製技術の研究は1970年代に始まりました。 Aisenberg と Chabot が 1971 年に炭素イオン ビームによる DLC 膜の堆積に成功して以来、DLC 膜の作製にはイオン ビーム堆積が使用されてきました。 それ以来、研究者たちは DLC フィルムを生成するさまざまな方法を発見してきました。 マイセルら。 は、著書「薄膜プロセスマニュアル」の中で、気相で堆積できるほとんどの薄膜材料は液相での電気化学的方法によっても合成でき、またその逆も可能であると指摘しました。 一般的な化学蒸着 (CVD) および物理蒸着 (PVD) に加えて、DLC 膜は液相での電気化学蒸着によっても作成できます。

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