各種コーティング技術の放電形態

▲ 図1 各種コーティング技術の吐出形態

イチジク。 図１は、様々なイオンプレーティング技術における放電形態を示す。 アーク放電からの光の強度は、グロー放電からの光の強度よりもはるかに大きくなります。 左上と中央上はグロー放電です。 右がホローカソードアーク放電光、左下がカソードアークイオンプレーティング光、右下がアークPECVDコーティング光です。 近年、真空塗装やワークの洗浄工程はアーク放電に向けた発展が進んでいます。

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