イオンプレーティングおよびハードコート成膜後のダイ寿命の向上

図3にイオンプレーティングとハードコート成膜後のダイ寿命向上の比較データを示します。 ハードコートの膜厚は3μm～5μmです。

▲ 図3 ハードコート成膜後の真空成膜技術の寿命向上データ

図 3 のコーティングなしのデータは、工具寿命がコーティングなしの白いナイフと同じであることを示しています。 工具寿命は、TiN 堆積後は 5 倍、TiAlN 堆積後はほぼ 10 倍増加しました。 図 3 次の図は、ダイ上に堆積された複合硬質コーティングが窒化部品の性能の 2 倍以上であることを示していますが、それらがナノ多層に中間層化されている場合、寿命はほぼ 10 倍に延長されます。 より多くのプロセスパラメータを調整して、真空コーティング技術の製品品質を向上させることができます。

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