冷陰極電離真空計

冷陰極電離真空計

冷陰極電離真空計 (ペニング ゲージとも呼ばれる) は、同じくゲージと測定ラインの 2 つの部分で構成される熱陰極電離真空計と同じですが、熱陰極の代わりに冷陰極を使用します。電離真空計のイオン源として。 冷陰極電離真空計内の電子は、平行または直交する電磁場の作用下で放電を維持することによって機能します。

冷陰極電離真空計の測定範囲は 10-2~10-9 mbar に達します。 真空計は構造がシンプルで保守が容易で、測定値はガスの種類に依存しますが、補正係数を提供できます。 ただし、冷陰極電離真空計の測定不確かさは 30% ～ 50% であり、10-2 ～ 10-5 の範囲で放電が開始される傾向があります。

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