マグネトロンスパッタリング技術の分類

マグネトロンスパッタリング法の分類
マグネトロンスパッタリングは、技術的にはDC（DC）マグネトロンスパッタリング、中間周波数（MF）マグネトロンスパッタリング、RF（RF）マグネトロンスパッタリングに分類できます。

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