バイアスの導入

バイアスの導入

バイアス電源（バイアス電源）は、真空アークイオンプレーティングやその他の真空物理蒸着装置の重要なコンポーネントです。真空イオンプレーティングでは、バイアス電源の品質が成膜品質に大きく影響します。バイアスとは、コーティングプロセス中に基板に印加される負の電圧を指します。バイアス電源の正極は真空チャンバーに接続され、真空チャンバーは接地され、バイアス電源の負極はワークピースに接続されます。アースの電圧は一般にゼロ電位であると考えられているため、ワークピースの電圧は伝統的に負のバイアスであると言われています。

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