極低温ポンプの動作原理と概略図

極低温ポンプの動作原理と概略図

極低温ポンプの動作原理は、超低温表面への物理吸着によってガスを排出することです。

極低温ポンプは非常に高い真空（10-11 Pa）を達成することができて、速い排気速度、油なしと無制限の設置方向の利点を持ちます。 その構造を図1に示し ます。

イチジク。 極低温ポンプ構造の1概略図

1段目冷却テーブル 2 - 二次冷却テーブル。 3 - 極低温カバー。 4 - シールドカバー。 5 - バッフル

極低温ポンプの第一段コールドテーブルにはシールドカバーとバッフルが装備されており、温度は80Kに維持されています。 二次冷却テーブルは15Kに維持され、その上に低温カバーと活性炭吸着剤がセットされます。

水蒸気は80Kシールドと80Kバッフル上で固化します。 窒素、酸素、アルゴンを15Kの極低温マスクで固化させます。 水素、ヘリウム、ネオンは15Kの低温ハウジングの内側の吸着剤に吸着されています。 極低温ポンプはすべてのガスを排気することができますが、吸収されるガスが多すぎると、排気速度が低下します。 この時点で、低温ポンプは吸着されたガスを放出するために加熱されそして再使用される必要がある。