真空システムは動作圧力に応じて分類されます

真空システムは動作圧力に応じて分類されます

真空システムは作動圧力に応じて分類されます。1) 粗真空システム (作動圧力 1330Pa 以上)。 2）低および中真空システム（作動圧力は1330〜0.13Pa）。 3) 高真空システム (作動圧力 0.13~1.3×1-6Pa); 4）超高真空システム（作動圧力は1.3×10-6Pa〜1.3×10-10Pa）。 5) 超高真空システム (作動圧力 1.3×10-10Pa 以下)。

真空システムに要求される清浄度に応じて、次のように分類できます。 1) 油真空システムがある (真空チャンバーには油蒸気汚染がある)。 2）オイルフリー真空システム（油蒸気汚染のない真空チャンバー）。

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