不平衡マグネトロンスパッタリングコーティング

不平衡マグネトロンスパッタリングコーティング
不平衡マグネトロンスパッタリングとは、陰極の内側と外側の磁極の磁束が等しくないことを指します。 不平衡磁場の役割は、ターゲット表面から逃げる高速で移動する二次電子をトラップすることです。 これらの電子は、ターゲット表面から遠く離れた中性ガス原子でイオン化し、基板領域でより多くのイオンとより多くの電子を生成するため、基板のイオン衝撃が大幅に増加します。 不平衡マグネトロンスパッタリングの開発により、薄膜の品質が大幅に向上しました。

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