真空システムの種類

真空システムの種類

特定のプロセス要件を満たすために使用され、特定の必要な真空度を取得および測定できるシステムを真空システムと呼びます。

より完全な真空システムは、真空チャンバー、必要な真空ポンプまたは真空ユニット、真空測定装置、接続導管、真空バルブ、トラップ、その他の真空コンポーネント、および電気制御システムで構成されます。 図 5-1 と 5-2 は、典型的な真空システムを示しています。

▲ 図 5-1 一般的な真空システムの原理 図 1: 1- 真空チャンバーベントバルブ 2- 電離真空計 3- 熱電対真空計 4- 流量制御バルブ {{6 }} 高真空バルブ 6- 拡散ポンプ 7- ガス リザーバー 8- 熱電対ゲージ (拡散ポンプ フロント圧力を測定) 9- フロント真空バルブ 10- 圧力センサー {{ 12}} プレ抽出バルブ 12- ステム真空ポンプ 13- バイパスバルブ 14- 電磁ベントバルブ 15- 機械式真空ポンプ

図 5-2 一般的な真空システムの概略図 2:1 - 真空チャンバー 2- 電離真空計 3- 熱電対真空計 4- ブリード バルブ 5- 高真空バルブ 6- コールドトラップ 7- 拡散ポンプ 8- フロント真空バルブ 9- 電磁ブリードバルブ 10- 機械式真空ポンプ 11- プレブリードバルブ

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