真空システムのバルブとパイプ

真空システムのバルブとパイプは、システムのポンプ時間を短く、使いやすく、安全で、信頼性の高いものにする必要があります。一般的に、メインポンプ(拡散ポンプまたはオイルブースターポンプ)として蒸気流ポンプがあります。フロントポンプシステムとしての機械ポンプは、フロントパイプライン(蒸気流ポンプシリーズ機械ポンプパイプライン)に加えて、真空前パイプライン(真空チャンバーから機械ポンプパイプラインに直接)が必要です。第二に、高真空バルブ(メインバルブとも呼ばれる)は、真空チャンバとメインポンプの間に配置され、前段パイプラインバルブ(低真空バルブとも呼ばれる)が前段パイプラインに配置されています。真空前管バルブ(低真空バルブと呼ばれる)は、真空前のパイプに配置されています。メインポンプ上の高真空バルブは、通常、ボンネットの下に真空することはできません、およびバルブを開くために大気圧のためのボンネット上、これは安全を確保するために電気インターロックを介して。ステージ前のパイプバルブと真空管バルブは、バルブ自体が大気圧下でバルブを開くことができることを考慮する必要があります。メインポンプとして蒸気流ポンプを備えた真空システムでは、メインバルブをメインポンプに覆い、前段パイプラインバルブもメインポンプに覆われ、真空管弁カバーを真空チャンバーに覆う必要があります。機械ポンプ入口パイプラインでは、リリーフバルブを設けるべきです。機械ポンプが動作しなくなると、すぐにバルブを開けることができ、機械的ポンプが大気中に入り込み、機械ポンプオイルがパイプラインに戻ってくるのを防ぎ、そのためバルブと機械ポンプ電気インターロック。真空チャンバはまた、材料を装填し、取るためのベントバルブを提供する必要があります。バルブの位置は、ガスが膨張するとガスインパルスが大きいので、真空チャンバ内の弱い成分が過剰なインパルスによって破壊されるのを防ぐために考慮する必要があります。ベントバルブのサイズは、真空チャンバの体積に関連しています。これは、作業に影響を与える、通気時間が長すぎてはならないことを考慮する必要があります。

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