電子ビーム処理とイオンビーム処理技術の原理比較

原則   電子ビーム処理とイオンビーム処理技術の 比較

電子ビーム処理は、電子ビームの高エネルギー密度を使用して、非常に短い時間（数分の1秒以内）で高速衝撃に焦点を当てた後、そのエネルギーの大部分を熱エネルギーに変換する真空状態です。 、ワークピース材料の衝撃が摂氏数千度以上の温度に達したため、真空システムによって材料の部分的な溶融と蒸発が引き起こされます。 電子ビームのエネルギー密度とエネルギー注入時間を制御することにより、さまざまな処理目的を達成できます。 材料が局所的に加熱される場合、電子ビーム熱処理を実行できます。 電子ビーム溶接は、材料を部分的に溶融することにより実行できます。 電子ビームのエネルギー密度を高めることにより、材料は溶解およびガス化され、パンチ、切断、加工が可能になります。 電子線リソグラフィーを使用して、低エネルギー密度の電子線を使用してポリマー感光材料をボンバーする場合、化学変化を生成できます。

イオンビーム処理は、イオン源によって生成されたイオンビームが真空条件下で収束するように加速され、ワークピースの表面に衝突するという点で、電子ビーム処理と似ています。 異なるものは正に帯電したイオンであり、アルゴンイオンの品質は電子の72000倍であるなど、電子の数千、数万倍の品質であるため、イオンが高速に加速されると、イオンビーム電子ビームはより大きな影響を与えます運動エネルギーは、運動エネルギーによって熱エネルギーに処理されるのではなく、微小機械衝撃エネルギーに依存することです。 イオンビーム処理の物理的基盤は、イオンビームが材料表面に衝突したときの衝撃効果、スパッタリング効果、および注入効果です。 特定の運動エネルギーを持つイオンがワークピースの表面に傾くと、表面の原子が打ち消される可能性があります。 加工物がイオン衝撃のターゲットとして直接使用される場合、加工物の表面はイオンでエッチングされます。 ワークピースをターゲット材料の近くに配置すると、ターゲット材料原子がワークピースの表面にスパッタされ、スパッタリングによって堆積および吸着されるため、ワークピースの表面がターゲット材料原子のコーティングでコーティングされます。 イオンエネルギーがワークピースの表面に垂直に当たるほど大きい場合、イオンはワークピースの表面にドリルインし、これがイオン注入効果です。

IKS PVD電子ビーム光学コーティング機、IKS-OPT2700、詳細、お問い合わせiks.pvd@foxmail.com